Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.717-718
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Measurement of adhesive and frictional forces on nanoimprintmaterials using AFM

AFM을 이용한 나노임프린트 소재의 점착력 및 마찰력 측정

  • 이희정 (한국기계연구원 나노융합-생산시스템연구본부 나노역학연구실) ;
  • 김재현 (한국기계연구원 나노융합-생산시스템연구본부 나노역학연구실) ;
  • 김광섭 (한국기계연구원 나노융합-생산시스템연구본부 나노역학연구실) ;
  • 최대근 (한국기계연구원 나노융합-생산시스템연구본부 나노공정장비 연구실) ;
  • 이학주 (한국기계연구원 나노융합-생산시스템연구본부 나노역학연구실)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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