Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.701-702
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
Silicon pattern transfer considering tilt and overlay alignment
평행도 및 overlay 정렬을 고려한 실리콘 패턴의 전사
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Jang, B.
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Kim, J.H.
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- Choi, H.J. ;
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Kim, K.S.
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Park, H.S.
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Lee, H.J.
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장봉균
(한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실)
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김재현
(한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실)
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- 최현주 (한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실) ;
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김광섭
(한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실)
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박현성
(한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실)
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이학주
(한국기계연구원 나노융합생산시스템 연구본부 나노역학 연구실)
- Published : 2010.05.26