Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.695-696
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Etching characteristics of ZnOthin films using Hexafluoroacetylacetone

Hexafluoroacetylacetone을 이용한 ZnO 박막의 식각 특성

김동석 ((주)에스엔텍) ;
박강일 ((주)에스엔텍) ;
서성만 ((주)에스엔텍) ;
안경준 ((주)에스엔텍)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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