Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.659-660
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Measurement of leakage current by dielectric on through-silicon vias

TSV에서의 절연막에 따른 누설전류의 측정

서승호 (세종대학교 기계공학과) ;
이원준 (세종대학교 신소재공학과) ;
황욱중 (국가나노종합팹센터)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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