한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

하이브리드 공정을 이용한 실리콘의 비아특성 연구

TSV Formation using Laser-based Hybrid Process

  • 신동식 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 김정오 (한국기계연구원 광응용생산기계연구실) ;
  • 이왕구 (서울시립대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2010.05.26
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