한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

아크릴 측쇄에 의한 초박형 웨이퍼 표면에서의 젖음성 변화

Variation of wettability on thin wafer surface by side chain of acrylic adhesives

  • 유종민 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 김형일 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 남영희 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 이승현 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 김현중 (서울대학교 환경재료과학과) ;
  • 김경만 (한국화학연구원 에너지소재센터) ;
  • 이충희 (한국화학연구원 에너지소재센터) ;
  • 이호연 (한국화학연구원 에너지소재센터)
  • 발행 : 2010.05.26
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