한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

대면적 미세형상 가공시스템 - 초정밀 레이저 길이측정 기술 개발

Large aperture - Development of high precision laser based length measurement technology

  • 현상원 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김영진 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 천병재 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김윤석 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2010.05.26
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