Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.619-620
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Large aperture - Development of high precision laser based length measurement technology

대면적 미세형상 가공시스템 - 초정밀 레이저 길이측정 기술 개발

현상원 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김영진 (한국과학기술원 기계공학과) ;
천병재 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김윤석 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김승우 (한국과학기술원 기계공학과)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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