Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.543-544
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Resist Filling behavior in Nanoimprint Lithography

레지스트 조건에 따른 나노 임프린트 Filling 현상

류지형 (한국기계연구원(과학기술연합대학교대학원)) ;
이재종 (한국기계연구원) ;
정상현 (한국기계연구원)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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