Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.493-494
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
Pressing Mechanism Design of Nanoimprint Lithography for Flexible Substrates
유연기판의 나노임프린트리소그래피를 위한 가압 메커니즘 설계
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Lim, H.J.
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Lee, J.J.
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Choi, K.B.
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Kim, G.H.
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Jeong, M.R.
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- Kim, H.N. ;
- Park, S.Y.
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임형준
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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이재종
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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최기봉
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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김기홍
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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정미라
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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- 김하나 (과학기술연합대학원대학교) ;
- 박수연 (과학기술연합대학원대학교)
- Published : 2010.05.26