한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
/
Pages.489-490
/
2010
/
2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

주사 전자 현미경의 집속 렌즈에 대한 성능 분석

An Analysis for the Performance of Condenser Lens in SEM

임선종 (한국기계연구원, 나노융합.생산시스템본부) ;
강재훈 (한국기계연구원, 나노융합.생산시스템본부)

Lim, S.J. ;
Kang, J.H.

발행 : 2010.05.26

PDF

PDF 다운로드

⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드