An Analysis for the Performance of Condenser Lens in SEM

주사 전자 현미경의 집속 렌즈에 대한 성능 분석

  • 임선종 (한국기계연구원, 나노융합.생산시스템본부) ;
  • 강재훈 (한국기계연구원, 나노융합.생산시스템본부)
  • Published : 2010.05.26