Design of Vacuum Feedthrough for a Precisise Linear and Rotary Motion

초정밀 직선, 회전운동 전달용 고진공 피드스루 설계

  • 김경호 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 이창우 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실)
  • Published : 2010.05.26