한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

CFD를 이용한 비접촉 웨이퍼 이송 핸드장치 연구

Hand Device For Non-Contact Wafer Transportation Using CFD

  • 고현준 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
  • 김종형 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 박균명 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
  • 이상용 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
  • 이상철 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
  • 송춘삼 (서울산업대학교 산업기술정책 연구소)
  • 발행 : 2010.05.26
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