FEMAnalysis forHigh-Precision Control of Multi-Axis Manufacturing Stage

다축 초정밀 스테이지의 정밀 제어를 위한 유한요소해석

  • 김덕준 (한국생산기술연구원 지능형로봇연구부) ;
  • 남경태 (한국생산기술연구원 지능형로봇연구부) ;
  • 이상무 (한국생산기술연구원 지능형로봇연구부)
  • Published : 2010.05.26