Analytical Modeling of Roll to Flat Thermal Imprinting Processes for Large-Area Micro-Pattern Replication

열간 Roll to Flat Imprint 공정에 관한 수치적 모델링 연구

  • 송정한 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 란수화이 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 이혜진 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 박진호 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 이낙규 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 이근안 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부)
  • Published : 2010.05.26