한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.15-16
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2010
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

비선형 Prestonian 근사를 통한 CMP 공정 평가

Characterization of CMP Process by non-Prestonian Regression

김형재 (한국생산기술연구원) ;
박범영 (한국생산기술연구원) ;
김성렬 (한국생산기술연구원) ;
류호연 (한국생산기술연구원)

발행 : 2010.05.26

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