Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.15-16
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Characterization of CMP Process by non-Prestonian Regression

비선형 Prestonian 근사를 통한 CMP 공정 평가

김형재 (한국생산기술연구원) ;
박범영 (한국생산기술연구원) ;
김성렬 (한국생산기술연구원) ;
류호연 (한국생산기술연구원)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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