한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.236-236
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- 2010
UMG 실리콘 기판의 Phosphorus 확산을 이용한 금속불순물 게터링
Gettering of Metal Impurity in UMG Silicon Wafer using Phosphorus Diffusion
- Yoon, Sung-Yean (Sejong University) ;
- Kim, Jeong (Sejong University) ;
- Kim, Eun-Young (Sejong University) ;
- Eum, Jung-Hyun (Korea Institute Of Ceramic Eng. & Tech.) ;
- Choi, Kyoon (Korea Institute Of Ceramic Eng. & Tech.)
- 발행 : 2010.06.16
초록
P-type의 단결정, 다결정, UMG 기판을 이용하여 phosphorus툴 확산시킨 후 열처리한 external gettering 방식으로 실리콘 내부에 있는 불순물을 제거하였고, 기판의 lifetime 변화를