한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.230-230
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- 2010
기체 속도 제어를 통한 MOCVD법을 이용한 $Bi_2Te_3$ 열전 필름 성장
초록
본 연구에서는 개조된 MOCVD법을 이용하여 (100) GaAs 기판 위에 나노 구조