한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
- /
- Pages.218-218
- /
- 2010
Si 첨가된 ZnO 박막의 전기적, 구조적, 광학적 특성 분석
Electrical, Structural, and optical property analysis of Si doped ZnO thin films
- Kim, Jun-Sik (Advanced material Engineering, Chungbuk University) ;
- Jang, Gun-Eik (Advanced material Engineering, Chungbuk University)
- 발행 : 2010.06.16
초록
본 연구에서는 투명 전극 대체 물질로써 유망한 ZnO의 전기적 특성 향상을 위하여 IV족 원소인 Si을 1, 3, 5 wt% 첨가하여 SZO 박막을 제작하여 dopant의 앙, 온도 변화에 따른 전기적, 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. Rf-magnetron sputtering system을 이용하여 slide glass위에 증착 하였으며