한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.8-8
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- 2010
EEPROM을 이용한 전하센서
EEPROM Charge Sensors
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이동규
(대학원 반도체공학과, 충북대학교) ;
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양병도
(대학원 반도체공학과, 충북대학교) ;
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김영석
(대학원 반도체공학과, 충북대학교) ;
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김남수
(대학원 반도체공학과, 충북대학교) ;
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이형규
(대학원 반도체공학과, 충북대학교)
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Lee, Dong-Kyu
(Department of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University) ;
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Yang, Byung-Do
(Department of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University) ;
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Kim, Young-Suk
(Department of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University) ;
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Kim, Nam-Soo
(Department of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University) ;
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Lee, Hyung-Gyoo
(Department of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University)
- 발행 : 2010.06.16
초록
외부전하를 감지할 수 있는 EEPROM 구조를 기반으로 한 센서를 제안하였다. 부유게이트로부터 확장된 큰 면적의 접촉부위 (CCM)는 외부전하를 고정화하도록 설계되었으며,