Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.02a
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- Pages.221-221
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- 2010
RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 니켈 산화물 박막의 비저항 조절연구
- Kim, Yeong-Eun ;
- No, Yeong-Su ;
- Park, Dong-Hui ;
- Lee, Jeon-Guk ;
- O, Yeong-Je ;
- Kim, Tae-Hwan ;
- Choe, Won-Guk
- 김영은 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 노영수 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 박동희 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 이전국 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 오영제 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 김태환 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
- 최원국 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터)
- Published : 2010.02.17
Abstract
NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법로 glass 기판 위에 NiO 온도를 R.T(room temperature)~
Keywords