한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.208-208
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- 2010
증착압력변화에 따른 GaZnO 박막의 전기적 광학적 특성
- 김형준 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 김득영 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 성준제 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이영민 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 조현칠 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 우용득 (우석대학교 기계자동차공학과) ;
- 이세준 (동국대학교 양자기능반도체연구센터)
- Kim, Hyeong-Jun ;
- Kim, Deuk-Yeong ;
- Seong, Jun-Je ;
- Lee, Yeong-Min ;
- Jo, Hyeon-Chil ;
- U, Yong-Deuk ;
- Lee, Se-Jun
- 발행 : 2010.02.17
초록
본 연구에서는 투명전도성산화막으로 적용 가능한 Ga이 도핑된 ZnO(GZO)의 성장 및 후처리 과정에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성을 관찰하였다. GZO 박막은 상온과
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