Trench D-MOS using MicroTec oxide according to the size of the current - voltage characteristics

MicroTec을 이용한 Trench D-MOS의 산화막크기에 따른 전류-전압 특성

  • Lim, Se-Hoon (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Han, Ji-Hyeong (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Jung, Hak-Kee (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Lee, Jong-In (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Cheong, Dong-Soo (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Kwon, Oh-Sin (Department of Electronic Eng., Kunsan National University)
  • Published : 2010.05.27

Abstract

Trench D-MOS(double-diffusion MOS)는 기존의 D-MOS를 대체한 것으로 전체 전류의 길이를 짧게 함으로써 온전압강하가 낮아지게 된다. 따라서 소자가 턴-온시에 전력소모가 작게 되며, 온저항과 트레이드 오프관계인 턴-오프 특성도 그다지 나빠지지 않아 트레이드 오프 특성도 개선되어지는 장점이 있다. 본 논문은 MicoroTec 시뮬레이션을 이용하여 Trench D-MOS의 산화벽을 다르게하여 전류-전압 특성을 연구하였다.

Keywords