한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)
- 한국해양정보통신학회 2010년도 춘계학술대회
- /
- Pages.775-778
- /
- 2010
초미세 패턴 칩-온-필름을 위한 자동 결함 검출 시스템 개발
Automatic Defect Detection System for Ultra Fine Pattern Chip-on-Film
- Ryu, Jee-Youl (Pukyong National University) ;
-
Noh, Seok-Ho
(Andong National University)
- 발행 : 2010.05.27
초록
본 논문에서는 초미세 패턴(
키워드