한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2010.11a
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- Pages.58.2-58.2
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- 2010
후열 처리 조건에 따른 a-Si/c-Si 이종접합 태양전지 특성 분석
- Kim, Kyung Min ;
- Jeong, Dae Young ;
- Song, Jun Yong ;
- Kim, Chan Seok ;
- Koo, Hye Young ;
- Oh, Byung Sung ;
-
Song, Jinsoo
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Lee, Jeong Chul
- 김경민 (한국에너지기술연구원) ;
- 정대영 (충남대학교) ;
- 송준용 (충남대학교) ;
- 김찬석 (충남대학교) ;
- 구혜영 (충남대학교) ;
- 오병성 (한국에너지기술연구원) ;
-
송진수
(한국에너지기술연구원)
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이정철
(한국에너지기술연구원)
- Published : 2010.11.16
Abstract
본 연구에서는 n-type wafer에 비정질 실리콘을 증착한 이종접합 태양전지를 열처리 방법을 이용하여 열처리의 효과를 분석함으로써 이종접합 태양전지에 효율적인 열처리 효과에 대하여 연구하였다. P, N-layer는 PECVD(Plasma-enhanced chemical vapor deposition) I-layer는 HWCVD(Hot wire chemical vapor deposition), ITO는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 동일한 조건에서 제작하였고 rapid thermal process를 이용하여 진공 중에서