한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2010.11a
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- Pages.57.1-57.1
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- 2010
A study on the property of ITO layer with oxygen partial pressure variation
산소 분압에 따른 ITO 박막의 특성 변화에 대한 연구
- Published : 2010.11.16
Abstract
ITO(Indium Tin Oxide)는 전도도와 투과도 특성이 뛰어나 디스플레이, 태양전지, LED 등 여러 산업에서 전극 물질로 널리 사용 되어져 왔다. 최근 ITO의 사용이 급격히 증가하면서 이에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. ITO는 막의 특성을 좋게 하기 위하여 증착 시 Ar gas와 함께