한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2010년도 추계학술대회 초록집
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- Pages.41.2-41.2
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- 2010
결정방향에 따른 결정질 실리콘 태양전지 후면전계 특성 연구
Study of back surface field for orientation on Crystalline Silicon solar cell
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김현호
(고려대학교) ;
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박성은
(고려대학교) ;
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김영도
(고려대학교) ;
- 송주용 (고려대학교) ;
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탁성주
(고려대학교) ;
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박효민
(고려대학교) ;
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김성탁
(고려대학교) ;
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김동환
(고려대학교)
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Kim, Hyunho
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Park, Sungeun
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Kim, Young Do
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- Song, Jooyong ;
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Tark, Sung Ju
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Park, Hyomin
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Kim, Seongtak
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Kim, Donghwan
- 발행 : 2010.11.16
초록
최근 태양전지 제조비용 절감을 위해 초박형 실리콘 태양전지 개발이 활발히 이루어지고 있다. 이에 따라 후면전계(Back Surface Field, BSF) 특성에 대한 관심이 높아지는 추세이다. 이에 본 연구에서는 후면의 결정방향 및 표면구조에 따라 형성되는 후면전계(BSF)의 특성에 대해 알아보고자 하였다. 후면이 절삭손상층 식각(Saw damage etching) 후 (100)면이 드러난 실리콘 기판과 텍스쳐링(Texturing) 후 (111)면이 드러난 실리콘 기판에 후면 전극을 스크린 인쇄 후 Ramp up rate을 달리 하여 소성 공정(RTP system)을 통해 후면전계(BSF)를 형성하여 비교하였다. 후면전계(BSF)의 형상과 특성만을 평가하기 위하여 염산을 이용하여 후면 전극층을 제거하였다. 후면 전극 제거 후 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)과 3차원 미세형상측정기(Non-contacting optical profiler)로 후면전계(BSF)의 형상을 비교하였다. 또한 후면전계(BSF)의 특성을 평가하고자 Quasi-Steady-State Photo Conductance(QSSPC)를 사용하여 포화전류(Saturation current,
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