Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference (한국전산구조공학회:학술대회논문집)

Computational Structural Engineering Institute of Korea (한국전산구조공학회)
권호 표지

A Study on Geometric Shape of Nanospring using Finite Element Method

유한요소법을 사용한 나노스프링의 기하학적 형상에 관한 연구

  • 김성섭 (서울대학교 기계항공공학과) ;
  • 김원배 (서울대학교 기계항공공학과) ;
  • 조맹효 (서울대학교 기계항공공학과)
  • Published : 2010.04.08
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Abstract

본 논문에서는 유한요소법을 이용하여 두 개의 층으로 이루어진 Si/SiGe 나노스프링의 기하학적 형상에 대한 연구가 수행된다. 나노스프링의 기하학적 형상에 영향을 미치는 주 설계요소로는 두께, 폭, 길이, 격자방향 등이 있으며, 두 개의 층으로 이루어진 Si/SiGe 박막이 나노스프링의 형상을 가지게 되는 주원인으로는 두 개의 층 경계면에서 발생하는 misfit strain이 있다. 본 연구에서는 두께, 폭, 길이, 격자방향 등의 설계요소를 변화시켜가면서 mistif strain에 의한 나노스프링의 곡률 변화에 대한 해석 결과가 제시된다. 또한 해석 결과의 검증을 위해 해석해의 결과와 분자동력학 전산모사 결과가 함께 제시된다.

Keywords