Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.167-167
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- 2009
Synthesis and Microstructure of Ti-B-N by a PECVD technique
Abstract
PECVD를 이용하여 Ti-B-N을 증착하여 B 함량에 따른 미세구조 및 기계적 특성을 평가하였다. B의 함량은 미세구조 및 기계적 특성에 큰 영향을 미치는 것을 확인하였다.
Keywords