한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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- 2009
Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향
Effects of bias voltage and temperature on mechanical properties of Ti-.Si-.N coatings deposited by a hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques
초록
하이브리드 코팅장비를 이용해 WC-CO기판위에 Ti-Si-N박막을 증착 시켰다. 이 연구는 Ti-Si-N박막의 기계적 성질에 온도와 바이어스가 미치는 영향에 대해 실험을 하였다. 증착온도가
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