Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Multi-functional Heating Resistor Films for High Efficient Inkjet Printhead

고효율 잉크젯 프린터 헤드 제조를 위한 다기능성 전자저항막 소재

  • 권세훈 (부산대학교 하이브리드소재솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 민재식 (삼성전자 디지털미디어 사업부) ;
  • 정성준 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 최지환 (부산대학교 하이브리드소재솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 김광호 (부산대학교 하이브리드소재솔루션 국가핵심연구센터)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

원자층 증착법을 이용하여 platinum group metal(Ru, Ir, Pt). metal nitride(TaN, TiN, AlN), 그리고 metal oxide($Al_2O_3$, $TiO_2$)을 증착하고, 미세구조와 공정 변수가 내산화성, 내부식성, 저항 및 온도저항계수에 미치는 영향을 연구하였다. proto-type의 전자저항막 제조를 통해 종래의 TaN 전자저항막에 비해 우수한 내부식성 및 내산화성을 가짐을 확인하였다.

Keywords