Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Monigoring and Diagnosis of Plasma Processes Using Computational Intelligence

전산지능을 이용한 플라즈마 공정 감시와 진단

  • 김병환 (세종대학교 전자공학과)
  • Published : 2009.10.14
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