한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
- /
- Pages.274-274
- /
- 2009
Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 유도형 대기압 플라즈마를 이용한 $SiO_2$ 식각에 관한 연구
- 발행 : 2009.02.11