Ferromagnetic Module을 적용한 내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) 소스의 특성에 관한 연구

  • 홍승표 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 권광호 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2009.02.11