한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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- Pages.261.2-261.2
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- 2009
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
- 김대철 (국가핵융합연구소) ;
- 김종식 (국가핵융합연구소) ;
- 김용현 (국가핵융합연구소) ;
- 최성웅 (국가핵융합연구소) ;
- 김성봉 (국가핵융합연구소) ;
- 오경숙 (국가핵융합연구소) ;
- 김영우 (국가핵융합연구소) ;
- 이봉주 (국가핵융합연구소) ;
- 유석재 (국가핵융합연구소)
- Kim, Dae-Cheol ;
- Kim, Jong-Sik ;
- Kim, Yong-Hyeon ;
- Choe, Seong-Ung ;
- Kim, Seong-Bong ;
- O, Gyeong-Suk ;
- Kim, Yeong-U ;
- Lee, Bong-Ju ;
- Yu, Seok-Jae
- 발행 : 2009.02.11