공정변수변화에 따른 플라즈마 Parameter 특성 변화의 분석 및 해석

  • 김종근 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 권한범 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 최희환 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 전재홍 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 이강웅 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 서종현 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • 발행 : 2009.02.11