RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가

  • 정상묵 (한국산업기술대학교 신소재공학과) ;
  • 임실묵 (한국산업기술대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2009.02.11