PZT Sputtering Target제작과 RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 PZT박막제작

  • 정상묵 (한국산업기술대학교 신소재공학과) ;
  • 임실묵 (한국산업기술대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.02.11