Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.203.1-203.1
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- 2009
$SiO_x$ 박막의 특성 향상을 위한 대향 타겟식 스퍼터링 공정의 최적화
- Wang, Tae-Hyeon ;
- Ryu, Seong-Won ;
- Park, Yong-Jin ;
- Lee, Jae-Hwan ;
- Hong, Jae-Seok ;
- Son, Seon-Yeong ;
- Kim, Hwa-Min
- 왕태현 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 류성원 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 박용진 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 이재환 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 홍재석 ((주)CTC) ;
- 손선영 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 김화민 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords