Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.201.2-201.2
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- 2009
액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구
- Seo, Gyeong-Cheon ;
- Gang, Sang-U ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Na, Jeong-Gil ;
- Sin, Jae-Su ;
- Choe, Jae-Bung ;
- Kim, Tae-Seong ;
- Yang, Il-Du ;
- Sim, Jae-Yong
- 서경천 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 나정길 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 최재붕 (성균관대학교 기계공학과) ;
- 김태성 (성균관대학교 기계공학과) ;
- 양일두 ((주)큐리프) ;
- 심재용 ((주)큐리프)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords