Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.185.2-185.2
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- 2009
W-C-N 확산방지막의 전자거동(electromigration) 특성과 표면 강도(surface hardness) 특성 연구
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Kim, Su-In
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- Kim, Chang-Seong ;
- Lee, Jae-Yun ;
- Park, Jun ;
- No, Jae-Gyu ;
- An, Chang-Geun ;
- O, Chan-U ;
- Ham, Dong-Sik ;
- Hwang, Yeong-Ju ;
- Yu, Gyeong-Hwan ;
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Lee, Chang-U
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김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김창성 (경기북과학고) ;
- 이재윤 (경기북과학고) ;
- 박준 (경기북과학고) ;
- 노재규 (경기북과학고) ;
- 안창근 (경기북과학고) ;
- 오찬우 (경기북과학고) ;
- 함동식 (경기북과학고) ;
- 황영주 (경기북과학고) ;
- 유경환 (경기북과학고) ;
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이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords