Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low-k 박막의 thermal treatment 전.후 특성 분석

  • 최범호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 김영미 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 유하나 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 김광영 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) ;
  • 이종호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 광응용부품지원센터)
  • Published : 2009.02.11
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