Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2009.02a
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Pages.172.1-172.1
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2009

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Effect of thickness and $O_2$ flow rate on the properties of ITO thin films deposited by RF magnetron sputtering for RGB LED applications

최은실 (광주과학기술원 광과학기술학제학부) ;
권재현 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
이용탁 (광주과학기술원 광과학기술학제학부) ;
유재수 (경희대학교 전자전파공학)

Published : 2009.02.11

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