InGaP/InGaAlP RC-LED 제작을 위한 $Al_{0.95}Ga_{0.05}As$/$Al_{0.5}Ga_{0.5}As$ 브래그 반사 거울층 건식 식각 조건 최적화

  • 배시영 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 박창영 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 박광욱 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 나병훈 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 송영민 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 이용탁 (광주과학기술원 정보기전공학부)
  • 발행 : 2009.02.11