RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

• Kim, Jong-Uk ;
• Kim, Min-Seok ;
• Lee, In-Hwan ;
• Kim, Deok-Gyu ;
• Kim, Hong-Bae ;
• Hwang, Chang-Su ;
• Park, Yong-Heon

• 김종욱 (청주대학교 전자공학과) ;
• 김민석 (청주대학교 전자공학과) ;
• 이인환 (청주대학교 전자공학과) ;
• 김덕규 (청주대학교 전자정보공학부) ;
• 김홍배 (청주대학교 전자정보공학부) ;
• 황창수 (공군사관학교 물리학과) ;
• 박용헌 (공군사관학교 물리학과)

• Published : 2009.02.11

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