Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

스퍼터링 방법에 의하여 p-형 Si 기판위에 형성된 높은 투명성과 전도성을 가진 Al-도핑된 ZnO 박막

  • 오도현 (한양대학교 전자통신컴퓨터 공학부) ;
  • 임영남 (한국과학기술연구원 나노소자센터) ;
  • 조운조 (한국과학기술연구원 나노소자센터) ;
  • 김태환 (한양대학교 전자통신컴퓨터 공학부)
  • Published : 2009.02.11
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords