Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
- /
- Pages.138-138
- /
- 2009
톨루엔-TEOS 복합 플라즈마 폴리머 박막 특성 연구
- Jo, Sang-Jin ;
- Bae, In-Seop ;
- Trieu, Nguyen ;
- Bu, Jin-Hyo
- 조상진 (성균관대학교 화학과) ;
- 배인섭 (성균관대학교 화학과) ;
- ;
- 부진효 (성균관대학교 화학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords