Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.133.1-133.1
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- 2009
Study of $SrTiO_3$ for Dielectric Thin Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
- Im, Chan-Jung ;
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Im, Dong-Hyeok
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Ma, Jin-Won
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Jo, Man-Ho
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- Gwon, Hak-Yong ;
- Park, Hyeong-Sang ;
- Yu, Yong-Min ;
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Go, Dae-Hong
- 임찬중 (연세대학교 세라믹공학과) ;
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임동혁
(연세대학교 물리 및 응용물리학과)
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마진원
(연세대학교 물리 및 응용물리학과)
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조만호
(연세대학교 물리 및 응용물리학과)
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- 권학용 (ASM Genetech Korea(주)) ;
- 박형상 (ASM Genetech Korea(주)) ;
- 유용민 (ASM Genetech Korea(주)) ;
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고대홍
(연세대학교 세라믹공학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords