Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

나노임프린트 리소그래피를 이용한 나노전계효과 소자의 제작

  • 이지혜 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 안명찬 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 김기돈 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 안재혁 (한국과학기술원 전기 및 전자공학과) ;
  • 최양규 (한국과학기술원 전기 및 전자공학과)
  • Published : 2009.02.11
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords