한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

차세대 TFT-LCD 제조용 초대면적 공정플라즈마 소스개발

  • 김곤호 (서울대학교 공과대학 에너지시스템공학과(원자핵공학)) ;
  • 이석환 (서울대학교 공과대학 에너지시스템공학과(원자핵공학)) ;
  • 최재명 (서울대학교 공과대학 에너지시스템공학과(원자핵공학)) ;
  • 최명선 (서울대학교 공과대학 에너지시스템공학과(원자핵공학))
  • 발행 : 2009.02.11
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